000			01519nam a22003857a 4500
999			_c200427821 _d45745
003			TR-AnTOB
005			20230908000933.0
008			171111b xxu||||| |||| 00| 0 eng d
040			_aTR-AnTOB _cTR-AnTOB _beng _erda
041	0		_atur
099			_aTEZ TOBB FBE MNT YL’17 MER
100			_aMercan, Elif _9118245
245	1	0	_aSilisyum karbür tek kristalli alttaşın termal dekompozisyon ile yüzey grafitizasyonunda demirin etkisinin araştırılması = _bThe effect iron on the surface graphitization of single crystalline silicon carbide wafer through thermal decomposition / _cElif Mercan.
264		1	_aAnkara : _bTOBB ETÜ Fen Bilimleri Enstitüsü, _c2017.
300			_axiii, 52 pages : _bgraphics, charts, color illustrations ; _c29 cm
336			_2rdacontent _atext _btxt
337			_2rdamedia _aunmediated _bn
338			_2rdacarrier _avolume _bnc
502			_aTez (Yüksek Lisans)--TOBB ETÜ Fen Bilimleri Enstitüsü Ağustos 2017
504			_aIncludes bibliographical references.
650	0	0	_932546 _aTezler, Akademik
650	0	0	_aDissertations, Academic _932543
653			_aSilisyum karbür
653			_aDekompozisyon
653			_agrafitizayson
653			_ademir
653			_aSilicon arbide
653			_aDecomposition
653			_aGraphitization
653			_aİron
710		2	_aTOBB Ekonomi ve Teknoloji Üniversitesi. _bFen Bilimleri Enstitüsü _977078
856	4	0	_uhttps://tez.yok.gov.tr/ _3Ulusal Tez Merkezi
942			_cTEZ _2z